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10.2 主要设备、材料进场验收
10.2.1 气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定：
1 外包装上应具有防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标识，并应完整无损；
条文说明
10.2.1 国内外的气瓶柜、气瓶架，阀门箱、阀门盘的做法各不相同，设备上的各种标识也不尽相同，为方便统一管理，保证使用的安全可靠，本条对气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘做了统一规定。
1 本款规定的是通过书面告知运输部门设备的运输要求，防止上述设备在运输过程中损坏。
2 本款规定的是由于上述设备接触的都是生产过程中的高纯特种气体，为保证特种气体的质量，防止在设备内污染，对设备外观和机械性能提出了基本要求。
3 本款规定对基本功能配制提出了要求，目的在于保证工艺需要、特种气体质量需要和安全功能的需要，防止人员操作失误。
4 本款规定是为了防止系统内部在运输与安装过程 中受到污染与机械破坏。
5 本款规定 在运输过程中盘面应保有不低于0.1MP(a表压)的压力的氮气是为了防止外界空气对设备内部的污染。
6 在进场验收时，要注意阀门的支撑件是否符合本标 准 的 要求，规定阀门用专用支撑件是为了安全的要求，阀门采用不锈钢材料是为了环境净化的要求。
10.2.2 尾气处理装置组件较多，随机资料也较多，进场验收时需要一一核实。对于酸碱洗涤塔设备尤其要注意设计要求和合同要求，因为酸碱洗涤塔设备大多是有机玻璃钢材料制作，质量好的玻璃钢可以使用15年~20年，质量差的玻璃钢使用寿命只有2年-3年，所以应严格按照合同和设计的要求进行验收。
10.2.3 本条对管道、管件和阀门进场验收做出了规定。
1 本款规定管道、管件和阀门的最外层的包装可在非洁净区打开，是为防止管道在搬运过程中造成弯曲，采用了加固的木箱包装，为防止管道内外表面洁净受污染，内包装采用了双层密封的塑料袋包装，并且是在洁净室内完成的。管件和阀门也采用了相同包装方法，所以外包装可在非洁净区打开，开箱后主要检查管道、管件、阀门的双层塑料透明聚乙烯薄膜是否损伤，防止受到污染。
2 本款规定了验收合格产品的在洁净室内的放置方法、放置位置，同时对保管产品的洁净环境做了规定。
3 为保证产品的质量和可追溯性，本款规定了进场的管道、管件和阀门应具备相关的资料。
10.2.4 本条强调特种气体管道、附件、阀门在洁净室内打开内包装，防止管道、管件和阀门验收时受到环境污染物的污染，特规定了验收的环境、内容和方法。
2 表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓；柜体顶部应设抽风口，柜门下方应设可调节空气过滤网进风口；
3 面板上应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标志的标识，并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图；同时，应配有与其对应的操作手册；
4 内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵；
5 在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa(表压)压力的氮气；
6 阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支撑件，支撑件材质应采用不锈钢；不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上。
3 面板上应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标志的标识，并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图；同时，应配有与其对应的操作手册；
4 内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵；
5 在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa(表压)压力的氮气；
6 阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支撑件，支撑件材质应采用不锈钢；不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上。
10.2.2 尾气处理装置进场验收应符合下列规定：
1 尾气处理装置进场应对外观、外形尺寸、构成、接口、铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对；
2 尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专用工具应齐全；
3 酸碱中和装置的洗涤塔、风机、泵、控制盘、酸(碱)储罐以及连接管路等应进行外观检查，随机资料应齐全；
4 尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试报告，铭牌、标识应齐全；
5 系统流程图、控制原理图、设备使用说明书应齐全。
10.2.3 管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定 ：
4 尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试报告，铭牌、标识应齐全；
5 系统流程图、控制原理图、设备使用说明书应齐全。
10.2.3 管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定 ：
1 在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；
2 检查合格的管道、管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级(0. 5 µ m)；
3 进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告。
2 检查合格的管道、管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级(0. 5 µ m)；
3 进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告。
10.2.4 管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：
1 管道、管件、阀门应有独立的内包装，端口均应装有防尘帽；
2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；
3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；
4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；
5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；
6 管道内壁平均表面粗糙度 R a 及最大表面糙度 R max 应满足设计文件的要求。
2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；
3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；
4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；
5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；
6 管道内壁平均表面粗糙度 R a 及最大表面糙度 R max 应满足设计文件的要求。
条文说明
10.2.1 国内外的气瓶柜、气瓶架，阀门箱、阀门盘的做法各不相同，设备上的各种标识也不尽相同，为方便统一管理，保证使用的安全可靠，本条对气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘做了统一规定。
1 本款规定的是通过书面告知运输部门设备的运输要求，防止上述设备在运输过程中损坏。
2 本款规定的是由于上述设备接触的都是生产过程中的高纯特种气体，为保证特种气体的质量，防止在设备内污染，对设备外观和机械性能提出了基本要求。
3 本款规定对基本功能配制提出了要求，目的在于保证工艺需要、特种气体质量需要和安全功能的需要，防止人员操作失误。
4 本款规定是为了防止系统内部在运输与安装过程 中受到污染与机械破坏。
5 本款规定 在运输过程中盘面应保有不低于0.1MP(a表压)的压力的氮气是为了防止外界空气对设备内部的污染。
6 在进场验收时，要注意阀门的支撑件是否符合本标 准 的 要求，规定阀门用专用支撑件是为了安全的要求，阀门采用不锈钢材料是为了环境净化的要求。
10.2.2 尾气处理装置组件较多，随机资料也较多，进场验收时需要一一核实。对于酸碱洗涤塔设备尤其要注意设计要求和合同要求，因为酸碱洗涤塔设备大多是有机玻璃钢材料制作，质量好的玻璃钢可以使用15年~20年，质量差的玻璃钢使用寿命只有2年-3年，所以应严格按照合同和设计的要求进行验收。
10.2.3 本条对管道、管件和阀门进场验收做出了规定。
1 本款规定管道、管件和阀门的最外层的包装可在非洁净区打开，是为防止管道在搬运过程中造成弯曲，采用了加固的木箱包装，为防止管道内外表面洁净受污染，内包装采用了双层密封的塑料袋包装，并且是在洁净室内完成的。管件和阀门也采用了相同包装方法，所以外包装可在非洁净区打开，开箱后主要检查管道、管件、阀门的双层塑料透明聚乙烯薄膜是否损伤，防止受到污染。
2 本款规定了验收合格产品的在洁净室内的放置方法、放置位置，同时对保管产品的洁净环境做了规定。
3 为保证产品的质量和可追溯性，本款规定了进场的管道、管件和阀门应具备相关的资料。
10.2.4 本条强调特种气体管道、附件、阀门在洁净室内打开内包装，防止管道、管件和阀门验收时受到环境污染物的污染，特规定了验收的环境、内容和方法。
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